pfeiffer Hipace80

氩气	> 1 x 10 11
    高2	1.4 x 10 6
    他	1.3 x 10 8
    N 2	> 1 x 10 11
冷却方式，可选	空气/水
冷却方式，标准	对流
冷却水消耗	75升/小时
冷却水温度	5-25°C / 41-77°F / 278-298°K
电动机构	使用TC 110
法兰（中）	DN 63 ISO-K
法兰（向外）	DN 16 ISO-KF / G 1/4英寸
氩气在全转速下的气体通过量    	0.54 hPa l / s / 0.41托l / s / 0.54 mbar l / s
H 2在全转速下的气体通过量	15.3 hPa l / s /> 11.47托l / s / 15.3 mbar l / s
介面	RS-485，远程
安装方向	任何
工作电压	24（±5％）直流电压
防护类别	IP54
抽速	
    氩气	66升/秒
    高2	48升/秒
    他	58升/秒
    N 2	67升/秒
转速±2％	90,000 rpm / 90,000分钟-1
转速可变	50-100％
启动时间	1.7分钟
极限压力（PNEUROP）	<1 x 10 -7 hPa / <7.5 x 10 -8托/ <1 x 10 -7 mbar
排气连接	G 1/8英寸
重量	2.4公斤/ 5.29磅